高純電子特氣系列產品

高純砷烷、磷烷等特種氣體均為集成電路制備中的主要支撐材料,廣泛應用于電子行業、太陽能電池、移動通信、汽車導航、航空航天、軍事工業等方面,南大光電所售磷烷、砷烷產品純度達到6N級別。

除此之外,南大光電還有磷烷混合氣、砷烷混合氣、乙硅烷混合氣等各種混合氣可售,其平衡氣可選氫氣H2、氦氣He、氮氣N2、氬氣Ar等,其他混合氣可根據客戶要求定制,氣瓶規格為47L、470L及定制規格。

磷烷

PH3

≥99.9999%

砷烷

AsH3

≥99.9999%

磷烷安全源

PH3

≥99.9997%

砷烷安全源

AsH3

≥99.9995%

三氟化硼安全源

BF3

≥99.9%

磷烷混合氣

99.9999%/99.99999%

砷烷混合氣

99.9999%/99.99999%

硅烷混合氣

99.9999%/99.99999%

乙硼烷混合氣

99.999%/99.9999%

乙硅烷混合氣

99.999%/99.9999%

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